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      在高純水的生產過程中，水中的陰陽離子可用電滲析法、反滲透法及離子交換技術等去除，水中的顆粒一般可用超過濾、膜過濾等技術去除；水中的細菌，目前國內多采用加藥或紫外燈照射或臭氧殺菌的方法去除；水中的TOC則一般用活性炭、反滲透處理。在高純水的應用領域中，水的純度直接關系到器件的性能、可靠性，因此高純水要求具有相當高的純度和精度。

      超純水設備是反滲透設備跟離子交換混床或EDI相結合配套使用。
      離子交換混床是通過離子交換樹脂在電解質溶液中進行的，可去除水中的各種陰、陽離子，是目前制備超純水工藝流程中不可替代的手段。離子交換器分為陽離子交換器、陰離子交換器等。當原水通過離子交換柱時，水中的陽離子和水中的陰離子（HCO3-等離子）與交換柱中的陽樹脂的H+離子和陰樹脂的OH-離子進行交換，從而達到脫鹽的目的。陽、陰混柱的不同組合可使水質達到更高的要求，生產出達到更高標準的超純水。

超純水工藝流程
1、反滲透設備+離子交換設備：
原水→原水箱→原水增壓泵→石英砂過濾器→活性炭過濾器→阻垢劑投加設備→精密過濾器→高壓泵→反滲透主機（單級或者雙級）→CQ2脫氣塔→中間水箱→中間水泵→離子交換床→終端過濾器→超純水
2、反滲透設備+EDI裝置：
 原水→原水箱→原水增壓泵→石英砂過濾器→活性炭過濾器→阻垢劑投加設備→精密過濾器→高壓泵→反滲透主機（單級或者雙級）→CQ2脫氣塔→中間水箱→中間水泵→EDI裝置→超純水
EDI設備：去離子（Electrodeionization）簡稱EDI，是一種將離子交換技術，離子交換膜技術和離子電遷移技術相結合的純水制造技術。屬高科技綠色環保技術。EDI凈水設備具有連續出水、無需酸堿再生和無人值守等優點，已在制備純水的系統中逐步代替混床作為精處理設備使用。EDI技術的環保特性好，操作使用簡便，愈來愈多地被人們所認可，也愈來愈多廣泛地在醫藥、電子、電力、化工等行業得到推廣。

優點：1. 無需酸堿再生： 在混床中樹脂需要用化學藥品酸堿再生， 而EDI則消除了這些有害物質的處理和繁重的工作。保護了環境。2. 連續、簡單的操作： 在混床中由于每次再生和水質量的變化，使操作過程變得復雜，而EDI的產水過程是穩定的連續的， 產水水質是恒定的，沒有復雜的操作程序，操作大大簡便化。 3. 降低了安裝的要求：EDI系統與相當處理水量的混床相比，有較不的體積，它采用積木式結構，可依據場地的高度和窨靈活地構造。 模塊化的設計， 使EDI在生產工作時能方便維護。

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